grubowarstwowe chemiczne czujniki gazów na bazie dwutlenku cyny, science
[ Pobierz całość w formacie PDF ]
//-->HELENA TETERYCZGRUBOWARSTWOWECHEMICZNE CZUJNIKI GAZÓWNA BAZIE DWUTLENKU CYNYOFICYNA WYDAWNICZA POLITECHNIKI WROCŁAWSKIEJWROCŁAW 2005RecenzenciAndrzej DziedzicJan SzmidtRedaktorAlicja KordasKorektaMaria IzbickaProjekt okładkiZofia i Dariusz Godlewscy© Copyright by Oficyna Wydawnicza Politechniki Wrocławskiej, Wrocław 2005ISBN 83-7085-874-0OFICYNA WYDAWNICZA POLITECHNIKI WROCŁAWSKIEJWybrzeże Wyspiańskiego 27, 50-370 WrocławDrukarnia Oficyny Wydawniczej Politechniki Wrocławskiej. Zam. nr 312/2005SPIS RZECZYSpis najważniejszych akronimów i oznaczeń.............................................................. 51. Wstęp....................................................................................................................... 92. Chemiczne półprzewodnikowe czujniki gazów ...................................................... 132.1. Definicja czujnika............................................................................................. 132.2. Klasyfikacja czujników .................................................................................... 142.3. Rys historyczny rozwoju chemicznych czujników gazu .................................. 162.4. Wymagania użytkowe ...................................................................................... 182.5. Materiały gazoczułe ......................................................................................... 232.6. Przewodnictwo elektryczne materiałów gazoczułych ...................................... 272.7. Podsumowanie.................................................................................................. 363. Procesy katalityczne w technice sensorowej ........................................................... 383.1. Materiały ceramiczne w technice sensorowej i katalizie.................................. 383.2. Kataliza heterogeniczna a chemiczne czujniki gazu ........................................ 403.3. Domieszki modyfikujące.................................................................................. 443.4. Podsumowanie.................................................................................................. 464. Oddziaływanie gazów z powierzchnią tlenku o właściwościach półprzewodniko-wych ........................................................................................................................ 494.1. Oddziaływanie tlenu......................................................................................... 494.2. Oddziaływanie innych gazów z półprzewodnikowymi materiałami gazoczu-łymi(SnO2) ...................................................................................................... 614.3. Podsumowanie.................................................................................................. 785. Właściwości proszków dwutlenku cyny.................................................................. 825.1. Właściwości fizyczne i chemiczne cyny i jej związków z tlenem ................... 825.2. Preparatyka proszków tlenku cyny (IV)........................................................... 895.3. Charakterystyka proszków tlenku cyny (IV).................................................... 9145.4. Modyfikowanie właściwości proszków tlenku cyny (IV) ................................1035.5. Podsumowanie..................................................................................................1126. Grubowarstwowy rezystancyjny czujnik gazu ........................................................1146.1. Technologie wytwarzania czujników ...............................................................1146.2. Elementy konstrukcji czujników grubowarstwowych......................................1186.2.1. Podłoże...................................................................................................1196.2.2. Elektrody ................................................................................................1226.2.3. Grzejniki i pomiar temperatury ..............................................................1246.2.4. Warstwa gazoczuła.................................................................................1346.2.5. Filtry.......................................................................................................1466.3. Podsumowanie..................................................................................................1567. Stabilność długookresowa czujników gazu .............................................................159Podsumowanie.........................................................................................................1768. Wnioski końcowe ....................................................................................................178Literatura .....................................................................................................................181Spis najważniejszych akronimówi oznaczeńAESBET–Auger ElectronSpectroscopy– spektroskopia Auger–Braunauer, EmmettiTeller– metoda wyznaczania powierzchni wła-ściweji porowatościEPR–Electron Paramagnetic Resonance– spektroskopia elektronowegorezonansu paramagnetycznegoFET–Field Effect Transistor– tranzystor polowyFTIR–Fourier Transform InfraRed– spektroskopia w podczerwieniIMEC–Interuniversity MicroElectronics Centre,Leuven – BelgiaISFET–Ion-Sensitive Field Effect Transistor– jonoczuły tranzystor polowyIUPAC–International UnionofPureandApplied Chemistry– Międzynardo-wy Komitet Chemii Czystej i StosowanejLPG–Liquefied Petroleum Gas– gaz skroplony, paliwo silnikowe – mie-szanina propanu i butanuLTCC–Low Temperature Cofiring Ceramic– niskotemperaturowa ceramikawspółwypalanaNTCR–Negative Temperature CoefficientofResistance– termistor o ujem-nym temperaturowym współczynniku rezystancjiPTCR–Positive Temperature CoefficientofResistance–termistor o dodatnimtemperaturowym współczynniku rezystancjiRH–Relative Humidity– wilgotność względnaSEM–Scanning Electron Microscopeskaningowy mikroskop elektronowyTGS– Taguchi Gas Sensors – firma produkująca chemiczne rezystancyjneczujniki gazówTPR–temperaturowo programowana redukcjaTWR–temperaturowy współczynnik rezystancjiUV–Ultra Violet– promieniowanie z zakresu ultrafioletuWEMIF PWr – Wydział Elektroniki Mikrosystemów i Fotoniki Politechniki Wrocław-skiej
[ Pobierz całość w formacie PDF ]